准分子激光器

出处：按学科分类—工业技术 北京工业大学出版社《特种加工手册》第14页（618字）

准分子激光器的工作粒子是一种在激发态复合为分子，而在基态离解为原子的不稳定缔合物．电子辐射跃迁在束缚的激发态与排斥的基态之间发生．准分子激光为紫外超短脉冲激光，波长范围在193～351nm，约是YAG激光器激光波长的1／5和CO₂激光波长的1／50，其单光子能量高达7．9eV，比大部分分子的化学键能都要高，故能直接深入材料分子内部进行加工，其加工机理不同于YAG和CO₂激光．

由于准分子激光器具有波长短、能量高、重复率高及可调谐等特性，因此，近几年来发展极为迅速．

图2-7为准分子激光器的整体结构，由放电管、电极和电源、腔镜、气流管道、气体处理器、风机等组成．

如今准分子激光器的实验室水平已达到千瓦级，商品水平也达到了数百瓦．准分子激光器的应用也逐渐深入到微电子、光化学、生物医学等领域．

图2-7 准分子激光器结构

1—电极；2～放电区；3—激光室；4—激光输出；5—蜂化电容器；6—后置反射镜；7—污染气体；8—气体处理器；9—回气管；10—储能电容器；11—闸流管开关；12—高压电源