T005844　SEMI标准年鉴(1990)

出处：按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典：1949-1992第15册工业技术(上)》第602页（177字）

国家技术监督局标准化司组织翻译。

中国标准出版社1991年11月至1992年4月版。241．7万字。6册。

是半导体设备和材料国际组织(简称SEMI)的标准汇集，包括193个新增和修订的现行的全部标准规范。

分6册。即《化学品》、《设备自动化／硬件》、《设备自动化／软件》、《材料》、《封装》、《微型构图》。